常用的真空泵為旋片式真空泵，它主要由泵體和偏心轉(zhuǎn) 子 組成。經(jīng)過(guò)精密加工的偏心轉(zhuǎn)子下面安裝有帶彈簧的濟(jì)片，由電機(jī)帶動(dòng)，偏心轉(zhuǎn)子緊貼泵腔壁旋轉(zhuǎn)。滑片靠彈簧的壓力也賢貼泵腔壁。滑片在泵腔中連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，使泵腔被滑片分咸的兩個(gè)不同的客積呈周期性的擴(kuò)大和縮小。氣體從進(jìn)氣嘴進(jìn)入，被壓縮后經(jīng)過(guò)排氣閥排出泵體外。如此循環(huán)往復(fù)，將系統(tǒng)內(nèi)的壓力減小。